四甲基氢氧化铵(Tetramethylammoniumhydroxide,TMAH)又称为氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化胺,无色至淡黄色液体,是 的有机碱，极易吸潮，有一定的氨气味，在空气中能迅速吸收二氧化碳，在室温下其蒸汽压较低，在135~145℃完全分解气化，高纯品在140℃低温处理也无微量残渣。四甲Chemicalbook基氢氧化铵溶液无色透明有微氨臭，1（wt）％溶液PH值为12.9，是与苛性碱同等强度的强碱。将四甲基氢氧化铵水溶液在减压下浓缩可得到5个结晶水的吸湿性针状结晶，再继续浓缩脱水变成3个结晶水的结晶，再变成1个结晶水的四甲基氢氧化铵，在135～140°C分解为三甲胺和二甲基醚，通常制10%、25%的水溶液。